精密加工技术：超精密导轨及空气静压轴承技术

文章来源：中国通用技术（集团）控股有限责任公司　　发布时间：2023-05-20

成果93：超精密导轨及空气静压轴承技术

【所属领域】关键零部件

【中央企业名称】中国通用技术（集团）控股有限责任公司

【成果简介 】

本成果面向超精密加工技术与装备需求，对两类超精密关键功能部件技术产品展开攻坚。开展了多孔质节流双半球气体静压轴承设计、制造及装配工艺技术研究，掌握了超精密气体静压主轴伺服控制技术。发明了一种全约束式超精密液体静压导轨单元结构，突破了双膜片节流型静压滑块设计技术，掌握了液体静压导轨装配工艺和伺服控制技术。本成果技术难度大、创新性强，自主研制的超精密气体静压主轴和液体静压导轨总体上达到国际先进水平，其中液体静压导轨全行程直线度指标达到国际领先水平。

【主要指标】

（一）主轴回转精度：≤25nm

（二）主轴转速：≥3000r/min

（三）导轨直线度：≤0.2μm/200mm

【应用推广需求】

（一）应用推广方式：销售、转让、合作实施、其他

（二）应用推广领域：航空航天、光学、半导体、消费电子等领域中精密光学元件、复杂结构件的超精密生产制造与检测。 

【成果图片】