国内有哪些知名的半导体设备精密零部件品牌公司

1. 富创精密：中国大陆半导体精密零部件的优秀供应商
1.1 股权结构：沈阳先进为公司第一大股东，郑广文为实际控制人

沈阳富创精密设备股份有限公司（简称富创精密）成立于 2008 年 6 月 24 日， 2022 年 10 月 10 日于科创板上市，注册资本 20905.33 万元。沈阳先进为公司第一大股 东，科创板发行上市后持有公司 16.91%股权；实际控制人为郑广文，对公司生产经营、 重大决策具有实际的控制力。

富创精密 5%以上股份的股东包括宁波祥浦、上海国投，分别持有 16.17%、13.67% 股权；富创精密的三个持股平台宁波芯富、宁波芯芯、宁波良芯，分别持有 2.87%、0.48%、 0.48%公司股权；此外富创精密员工资管计划参与了科创板 IPO 上市发行，持有公司 1.54%股权。 公司拥有沈阳融创、北京富创、南通富创、富创研究院、沈阳强航 5 家境内控股子 公司，美国富创、日本富创 2 家境外全资子公司，上海广川、芯链融创 2 家境内参股公 司。

1.2 产品类别：四大类产品布局，目前正处于高速发展期；部分产品已应 用于 7nm 前道半导体设备

公司专注于金属材料零部件精密制造技术，主要产品包括工艺零部件、结构零部件、 模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备及其它领域。根据中国证监会发布的《上市公司行业分类指引（2012 年修订）》，公司所属行业为通用设备 制造业（代码：C34）。

半导体设备精密零部件具有多品种、小批量、定制化的特点，工序繁琐、技术难度 大，公司主要提供的四大类产品具有如下特点：结构零部件。工艺制程相对简单，技术要求低于工艺零部件；公司与客户的合 作往往从结构零部件开始，所以结构零部件放量更快。 工艺零部件。工艺制程更复杂、技术要求更高、客户验证周期更长，客户选择 或替代其他供应商更为谨慎。 气体管路/模组产品。属于公司新开拓产品，模组产品的生产流程主要为装配和 测试，产品具有多品种、定制化的特点。

公司的发展历程主要包括三大阶段： （1）、2008-2014，工艺积累和技术攻关阶段，实现国产化自主可控；成为 A 客户 合格供应商。公司成立之初引进行业专家，带来技术经验和专业能力，自研产品多为 90 纳米以上制程半导体设备的工艺零部件和不直接参与晶圆反应过程的外围结构零部件。 公司于 2011 年承担国家02 重大专项中的IC 设备关键零部件集成制造技术与加工 平台项目，依托02 重大专项进行自主研发，掌握了部分精密零部件的制造技术，并取得了相应专利保护。在这期间，公司成功向国际半导体设备龙头客户 A 交付了首款 精密零部件产品，并通过其质量体系认证，成为其合格供应商。 （2）、2014-2018，快速发展阶段，部分技术达到主流国际客户标准；成为 A 客户 战略供应商，并成为东京电子、VAT 等国际知名企业的供应商。2014 年公司再次承担 国家02 重大专项中基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发项目。 通过持续研发投入，以及针对 22nm 以下大型铝合金零部件超强耐腐蚀、特种焊接等技 术的产业化应用，公司具备了一套完整的复合焊接工艺，掌握了特种涂层喷涂工艺等表 面处理特种工艺核心技术，半导体设备精密零部件的焊接及表面处理特种工艺技术达到 主流国际客户标准。在这期间，公司成为客户 A 的战略供应商，东京电子、VAT 等国际 知名企业的供应商，并为北方华创、中科信装备、拓荆科技等国内知名半导体设备企业 提供精密零部件的研发及量产配套服务。 （3）、2018 至今，高速发展阶段，持续扩大产能；并不断向高端产品发展。公司 进入 HATICHI High-Tech、ASMI 等多个全球半导体设备龙头厂商供应链体系。随着国 内半导体设备企业的崛起，公司积极开拓国内市场，实现了对主流国内半导体设备厂商 的量产配套，内销收入规模不断提升。目前，公司部分高端产品已应用于 7nm 制程的 半导体设备。

公司主要产品应用于半导体设备领域，覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻 及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节设别，部分产品已应用于 7nm 制程 的前道设备中。

1.3 技术团队：行业经验积累深厚，持续研发

公司结合多年的技术研发与项目实践经验所积累的科研成果，在精密机械制造、表 面处理特种工艺、焊接等半导体设备精密零部件关键环节具备了领先的技术能力。截止 2021 年 12 月 31 日，公司员工人数为 1088 人，其中研发人员 225 人，占比 20.68%。

截止 2021 年 12 月 31 日，公司总预算金额排名前 10 的在研项目包括：基于原子 层沉积技术制备零部件保护薄膜研发项目、气体流量控制器基座工艺技术研发项目、高端管路制造工艺研发项目、材料自动化焊接工艺研发项目、匀气盘类产品流量均匀性和 超高洁净度技术研发项目、全球战略客户产品研发项目、高洁净度高真空半导体门阀研 发项目、离散制造的切削液集中供给系统研发项目、集成电路化学机械抛光设备关键零 部件保持环制造工艺研发项目、离散制造的切屑收集及储运系统研发项目等。 根据富创精密招股说明书（注册稿），公司获国家发改委集成电路装备零部件精 密制造技术国家地方联合工程研究中心（辽宁）、工信部第三批专精特新‘小巨人’ 企业、工信部/国家发改委等国家智能制造优秀场景、国家工业信息安全发展研究中 心2021 年中小企业数字化转型典型案例、国家火炬中心国家高新区瞪羚企业、 辽宁省科学技术厅辽宁省瞪羚企业、沈阳市科学技术局2018 年度沈阳市科技小巨 人企业等。

1.4 产能情况：产能利用率逐年快速提升

公司的四大类产品主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四 大类，产能方面的情况为： （1）、工艺和结构零部件。以精密机械制造生产工序中的关键设备理论工时作为产 能依据，2019 年、2020 年、2021 年的理论产能分别为 47.87 万小时、58.65 万小时、 97.20 万小时；产能利用率分别为 62.70%、81.21%、90.17%。 （2）、气体管路。2019 年、2020 年、2021 年理论产能分别为 14.4 万件、18 万件、 18 万件；产能利用率快速提升，2019 年、2020 年、2021 年分别为 4.55%、23.32%和 63.18%。 公司采购的主要原材料包括铝合金材料/不锈钢等其他金属原材料、加工件（经过机 械制造的铝合金、不锈钢等部件）、电子标准件（传感器、执行器、电气元件等，一般 用于模组产品）、机械标准件（管接头、阀门、密封圈、金属管路等，一般用于模组产 品和气体管路）等。主要采用以销定产模式，通过询价、比价、议价方式在合格供应商 名录中确定供应商；对于主要供应商，公司一般与合格供应商签订框架协议锁定年度价 格。部分客户对部分原材料的供应商存在复杂、长期的认证过程，且要求保障原材料质 量的稳定、一致性和可追溯性，因此存在部分客户指定原材料品牌或指定原材料供应商 的情形。2021 年公司前五大原材料供应商包括华航铝业及其关联方、美德材料及其关 联方、日本精工、盈沛贸易、世伟洛克等，前五大供应商占当期采购金额的比例合计 41.60%。

公司存在少量外协采购情况，2021 年外协采购占比为 3.80%，主要包括特种工艺 外协和机械制造外协两种情形。①、特种工艺外协，主要是公司针对一部分不具备能力 或尚未成熟的特种工艺制程委外加工；②、机械制造外协，基于成本和交付周期考量， 公司会将少量机械制造工序委外加工。2021 年公司主要的外协供应商包括 APS、凤城 市世林机械有限责任公司、达成模具、濂达科技、东博机械等。

1.5 客户情况：成为国内外主流半导体设备厂商供应商

公司产品的高精度、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能达到主流国际客户标准，已进入客户 A、东京电子、HITACHI Hi-Tech 和 ASMI 等全球半导体设备龙头厂商供应 链体系，并且是客户 A 的全球战略供应商。同时，基于半导体设备国产化趋势，公司积 极开拓境内市场，产品已进入包括北方华创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清 科、芯源微、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂商。

成为多家半导体设备公司的合格/战略供应商。公司自 2008 年设立起对标客户 A 的 供应商管理标准，不断提升和完善自身管理和质量控制体系。公司在 2011 年成为客户 A、 芯源微的合格供应商，2013 年成为东京电子、拓荆科技的合格供应商，此后陆续成为多 家下游客户的合格供应商；2016 年、2020 年分别成为客户 A、北方华创的战略供应商。 客户集中度高，这也与半导体设备精密零部件呈高度垄断竞争格局一致。2021 年 公司前五大客户（受同一实际控制人控制的企业合并计算）的销售情况为客户 A、北方 华创、华海清科、客户 C、拓荆科技，销售收入占当期营业收入的比例分别为 55.97%、 19.11%、5.47%、3.29%和 2.39%，合计 86.23%。

2. 财务情况：气体管路和模组产品收入快速增长，规模效 应开始显现
2.1 盈利情况：气体管路/模组产品收入增长快速，业务毛利率 30%以上

收入增长明显。公司主要有四大类产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品、 气体管路，2019 年、2020 年、2021 年实现收入 25335.12 万元、48121.85 万元和 84312.82 万元，2020 年、2021 年分别同比增 89.94%、75.21%。按照收入情况来看， 2019 年、2020 年、2021 年主营业务收入占比高达 98.39%、98.30%、98.38%；其他 业务收入主要为材料及废料销售收入和租赁收入，占营业收入的比重较小。 根据公司 2022 年三季报数据，2022Q3 单季度实现收入 4.15 亿元，同比增 82.07%；2022Q1-Q3 累计实现收入 10.13 亿元，同比增 76.70%。 主营业务收入按产品类别来看，工艺零部件、结构零部件为收入贡献占比较大的两 类产品。2021 年结构零部件、工艺零部件的占比分别为 42.44%、21.50%；模组产品、 气体管路的收入不断提升，2019 年、2020 年、2021 年模组产品的收入分别为 5875.55 万元、10036.11 万元、16123.81 万元，增长快速；2019 年、2020 年、2021 年气体管 路的收入分别为 557.85 万元、5890.17 万元和 13783.57 万元，在主营业务收入中的占 比从 2019 年的 2.24%提升到 2021 年的 16.62%，增长明显。 大陆地区收入贡献占比逐年增加。2019 年、2020 年、2021 年大陆地区的收入占 比分别为 15.34%、22.30%、39.32%，逐年提升；大陆以外地区的收入占比分别为 84.66%、77.70%、60.68%，逐年下降。我们认为这主要是因为近年来国内半导体设备 公司的成长，公司陆续成为它们的供应商带来收入增加导致。

季度收入逐季增加。公司 2019 年 Q1-Q4 四个季度的平均收入为 6231.53 万元， 21Q4 单季度收入达 26791.16 万元，环比增 20.72%。

整体业务毛利率 30%以上。2019 年、2020 年、2021 年公司主营业务整体毛利率 分别为 16.16%、30.99%、30.99%。工艺零部件的毛利率分别为 22.77%、36.04%、 34.02%，结构零部件的毛利率分别为 18.19%、35.35%、32.38%；气体管路的毛利率 分别为-0.34%、34.95%、33.85%，提升明显。 净利润提升明显。2019 年、2020 年、2021 年归母净利润分别为-3334.40 万元、 9350.50 万元和 12649.18 万元，提升明显；2019 年、2020 年、2021 年扣非后归母净 利润分别为-6016.99 万元、3161.11 万元和 7484.73 万元。

根据公司 2022 年三季报数据，2022 年 Q3 单季度实现归母净利润 6278.22 万元， 同比增 62.90%；扣非后归母净利润 5005.44 万元，同比增 61.34%；2022Q1-Q3 实现 累计归母净利润 1.63 亿元，同比增 98.37%；累计扣非后归母净利润 1.24 亿元，同比 增 134.25%。

2.2 精密零部件具备多品种、小批量、定制化特点

半导体设备精密零部件具有多品种、小批量、定制化的特点，工序繁琐、技术难度 大，导致公司的各类产品针对不同客户的平均单价都不太一样。 （1）、结构零部件。公司销售的平均单价 2019 年、2020 年、2021 年分别为 522.20 元/件、610.50 元/件、754.49 元/件；销售给拓荆科技的平均单价高于整体销售平均单 价较多，主要为反应腔、过渡腔和盖板等产品。 （2）、工艺零部件。公司销售的平均单价 2019 年、2020 年、2021 年分别为 13147.41 元/件、11396.84 元/件、10265.90 元/件；销售给北方华创、拓荆科技的平均单价高于 整体销售平均单价，销售给客户 A 的平均单价则低于整体销售平均单价。伴随销售给国 内半导体设备公司的销量逐年增加，平均单价也呈现逐年下降的态势。

（3）、模组产品。公司销售的整体平均单价 2019 年、2020 年、2021 年分别为 16555.52 元/件、33498.38 元/件、29109.60 元/件，销售给客户 A 的平均单价基本与整体销售平 均单价较为接近，而销售给北方华创的平均单价则低于整体销售平均单价。（4）、气体管路。公司销售的整体平均单价 2019 年、2020 年、2021 年分别为 1233.92 元/件、1630.86 元/件和 1347.30 元/件，销售给不同客户的平均单价基本与整体销售平 均单价较为接近。 工艺零部件、模组产品的平均单价较高，价值量较大；而气体管路、结构零部件产 品的平均单价则略低，价值量较小。公司不同类别的产品单价随着产品类型、不同客户 的变化而略有波动，这也体现出精密零部件具有多品种、小批量、定制化的特性。 因为公司产品具备多品种、小批量、定制化的特性，其与不同客户的半导体设备销 售量之间的匹配关系互不相同。

2.3 规模效应逐步体现，期间费用率下降明显

期间费用率下降明显。2019 年、2020 年、2021 年公司的期间费用率分别为 34.05%、 19.89%、19.62%，随着营业收入快速增长，规模效应逐步体现，2020 年的期间费用率 相比 2019 年大幅下降。 销售费用率。2019 年、2020 年、2021 年公司的销售费用率分别为 5.34%、2.54%、 1.85%，行业平均销售费用率则分别为 2.85%、2.34%、2.58%；2021 年富创精密的销 售费用率已低于同行业可比公司水平。 管理费用率。2019 年、2020 年、2021 年公司扣除股份支付费用后的管理费用率 分别为 13.35%、6.72%、7.12%，行业平均管理费用率分别为 7.68%、6.23%、5.37%； 2021 年富创精密的管理费用率高于同行业可比公司水平。 研发费用率。2019 年、2020 年、2021 年公司的研发费用率分别为 11.37%、7.67%、 8.80%，行业平均研发费用率分别为 2.78%、2.12%和 2.37%；富创精密的研发费用率 高于同行业可比公司水平。

流动性。2019 年、2020 年、2021 年公司的流动比率分别为 1.32 倍、2.51 倍和 1.56 倍，速动比率分别为 0.80 倍、1.96 倍和 1.16 倍，处于较为合理水平。 周转率。2019 年、2020 年、2021 年公司的应收账款周转率分别为 4.05 倍、4.53 倍和 3.37 倍，存货周转率分别为 2.04 倍、2.42 倍和 2.64 倍。

3. 中国大陆半导体设备商的快速发展将带动精密零部件 的需求持续增长
3.1 全球半导体设备市场增长迅速，2021 年中国大陆半导体设备需求占 比最大

全球半导体设备市场规模增长迅速。半导体设备包括光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉 积设备、清洗设备、离子注入设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等。近年 全球半导体设备市场规模逐步扩张。根据富创精密招股说明书援引 SEMI 统计数据，全 球半导体设备销售规模从 2010 年 395 亿美元增长到 2020 年的 712 亿美元；根据 SEMI 数据，2021 年全球半导体设备销售规模达 1026 亿美元，同比增 44%。 晶圆处理设备占半导体设备的销售额比例最大。半导体设备又可分为前道晶圆处理 设备、封装设备、测试设备、其他设备，前道晶圆处理设备的市场规模从 2006 年的 287.4 亿美元增长到 2021 年的 911.8 亿美元，增长明显。 中国大陆是 2021 年全球最大的半导体设备销售区域。分区域来看，2021 年中国大 陆、韩国、中国台湾地区为前三大半导体设备销售额区域，销售额分别达 296.2 亿美元、 249.8 亿美元、249.4 亿美元，同比增 58%、55%、45%。

我们认为，全球半导体设备市场规模不断增长，公司作为快速发展的半导体设备精 密零部件公司，目前产品已经进入客户 A、北方华创等国内外优秀半导体设备公司供应 链体系，公司实现快速发展可期。

3.2 精密零部件在下游设备的原材料成本中占比大，市场空间较大

目前公司的半导体设备精密零部件已广泛应用于光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备、 离子注入设备、高温扩散设备、化学机械抛光设备等领域，我们选取几家有代表性公司 对富创精密所处的半导体设备精密零部件赛道的需求用量进行对比分析。 （1）、拓荆科技。根据拓荆科技招股说明书披露，拓荆科技采购的原材料主要包括机械 类、机电一体类、电气类、气体输送系统类、真空系统类、附属设备等，2019 年、2020 年、2021 年 1-9 月机械类原材料占其原材料采购总额的比例分别为 27.69%、25.29% 和 28.20%，气体输送系统类占其原材料采购总额比例分别为 8.79%、7.50%、和 8.16%。 （2）、中微公司。根据中微公司招股说明书披露，中微公司采购的原材料主要包括机械 类、电器类、机电一体类、气体输送系统类、传感器类、仪器仪表类、气动系统类等， 2016 年、2017 年、2018 年机械类原材料占其原材料采购总额的比例分别为 44.15%、 41.21%和 39.45%，气体输送系统类占其原材料采购总额比例分别为 11.80%、16.45% 和 17.36%。 （3）、屹唐半导体。根据屹唐半导体招股说明书披露，屹唐半导体采购的原材料主要为 机械类、电气类、机电一体类、气体输送系统类等，2018 年、2019 年、2020 年机械 类占其原材料采购总额的比例分别为 33.42%、34.91%和 37.62%，气体输送系统类占 其原材料采购总额的比例分别为 9.12%、7.57%和 7.83%。

根据富创精密招股说明书披露，保守测算 2020 年公司涉及的工艺零部件、结构零 部件、模组产品、气体管路四大类产品全球市场规模合计约 160 亿美元。其中工艺/结 构零部件全球市场规模约 84 亿美元，模组产品全球市场规模约 40 亿美元，气柜及气 体管路全球市场规模约 35 亿美元，对应市场空间较大。

3.3 市场格局：产品多而复杂，单一公司的全球市场占有率较低

半导体设备精密零部件行业内多数企业往往关注个别生产工艺或特定产品，行业相 对分散；且精密零部件供应链信息和相应产品的技术性能指标为各家设备厂商的敏感 信息。因此无法从公开渠道获得同行业可比公司的产品技术指标、市场排名和占有率等。

4. 盈利预测
我们预测公司 2022E-2024E 收入分别为 14.59 亿元、22.01 亿元和 31.05 亿元，同 比增 73.02%、50.89%和 41.08%；归母净利润分别为 2.23 亿元、3.65 亿元和 5.03 亿 元，同比增 76.50%、63.51%和 37.80%。主要基于如下假设条件：

（1）、工艺零部件。在半导体设备汇中与晶圆直接接触或直接参与晶圆反应，一般在密 闭腔室的复杂工艺环境中参与晶圆制程，起到延长设备的使用寿命，提升晶圆制造良率 的作用。根据公司招股说明书披露，目前的工艺零部件主要产品包括腔体、内衬、匀气 盘等，已用于立式扩散炉、刻蚀设备、离子注入机、PVD/CVD/ALD 设备等。2019 年、 2020 年、2021 年实现收入分别为 6661.79 万元、11693.16 万元和 17833.92 万元，增 长迅速；在主营业务收入中占比分别为 26.73%、24.72%和 21.50%。考虑到工艺零部 件的制造难度更大，也与晶圆制造良率关系更紧密，直接影响晶圆制造良率，我们认为 公司目前的工艺零部件产品已满足下游客户需求，处于快速增长阶段，预计 2022E-2024E 收入以 53.00%、33.00%、23.50%的增速成长，毛利率分别为 35%、34%、 33%。

（2）、结构零部件。在半导体设备中一般起连接、支撑和冷却等作用，种类繁多，应用 广泛，在半导体设备中一般不直接与晶圆接触或参与晶圆反应。根据公司招股说明书披 露，目前的结构零部件主要产品包括但不限于基板、流量计底座、铰链底座、盖板、基 座、支架等多种产品，已用于立式扩散炉、光刻机、涂胶显影设备、刻蚀设备、 PVD/CVD/ALD 设备、CMP 设备等。2019 年、2020 年、2021 年实现收入分别为 1.18 亿元、1.97 亿元、3.52 亿元，在主营业务收入中占比分别为 47.46%、41.61%和 42.44%， 呈现下降趋势。考虑到结构零部件在半导体设备领域中的广泛应用性，我们预计 2022E-2024E 的收入以 35%、20%、15%的增速成长，毛利率则分别为 33.5%、33.0%、 32.5%。

（3）、模组产品。通过组装、测试等环节将公司生产的工艺零部件、结构零部件、气体 管路产品和外购的电子标准件和机械标准件进行装配，形成实现部分半导体设备核心功 能的模组产品。根据公司招股说明书披露，目前的模组产品主要包括腔体模组、刻蚀阀 体模组、气柜模组、离子注入机模组等，2019 年、2020 年、2021 年实现收入分别为 5875.55 万元、10036.11 万元和 16123.81 万元，在主营业务收入中占比为 23.57%、 21.22%和 19.44%。我们预计 2022E-2024E 模组产品的收入将以 128.00%、65.00%和 43.00%的增速快速成长，毛利率分别为 25%、25%、25%。

（4）、气体管路。用于半导体设备中的特殊工艺气体传送，是连接气源到反应腔的传输 管道。根据公司招股说明书披露，目前的气体管路产品主要应用于刻蚀设备、离子注入 设备、PVD/CVD/ALD 设备等领域，2019 年、2020 年、2021 年实现收入分别为 557.85 万元、5890.17 万元和 13783.57 万元，在主营业务收入中占比为 2.24%、12.45%和 16.62%，占比提升非常明显。我们认为气体管路产品在 2022E-2024E 将实现更快成长， 气体管路的收入将以 134.00%、95.50%和 72.50%的增速成长，毛利率分别为 35%、 35%、35%。

（5）、其他业务收入。主要为材料及废料销售收入和租赁收入，在营业收入的比重较小。 我们预计 2022E-2024E 的其他业务收入将分别以 50%、50%、50%的增速成长，毛利 率分别为 80%、80%、80%。

（本文仅供参考，不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息，请参阅报告原文。）

精选报告来源：【未来智库】。